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本文是为大家整理的MEMS技术主题相关的10篇毕业论文文献，包括5篇期刊论文和5篇学位论文，为MEMS技术选题相关人员撰写毕业论文提供参考。
1.[期刊论文]Better MEMS,Better Life!谢会开:MEMS技术开创微型化产品新时代
期刊：《科技中国》 | 2012 年第 003 期
摘要：当今社会,越来越多的人受到癌症的侵袭.世界卫生组织的统计数据表明:2008年全球有1270万癌症患者,其中死亡760万人.联合国癌症署日前表示,如果不采取有效措施,到2030年,全球癌症死亡人数每年将达到1700万人.
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_china-scitechnology-business_thesis/0201240407413.html
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2.[期刊论文]消费者需求推动MEMS技术接近现实—专访意法半导体副总裁 模拟、MEMS和传感器事业部总经理Benedetto Vingna
期刊：《电子产品世界》 | 2012 年第 005 期
摘要：MEMS(微机电系统)技术深受运动、加速度、倾斜以及振动等传感器应用的欢迎.根据市场调研公司IHS iSuppli的报告,2011年意法半导体消费电子MEMS产品销售额增幅超过80％,总计约6.50亿美元,是最大竞争对手的两倍多.近日,笔者有机会专访意法半导体副总裁模拟、MEMS和传感器事业部总经理BenedettoVigna,请他为大家介绍意法半导体MEMS技术的竞争优势和未来发展趋势.
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_electronic-engineering-product-world_thesis/0201234632011.html
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3.[期刊论文]让应用更Smart的MEMS技术——MEMS陀螺仪技术简介
期刊：《电子与电脑》 | 2011 年第 004 期
关键词：MEMS技术；陀螺仪；应用；微机电系统；电子装置；加速度计；EM技术；磁力计
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_compotech-china_thesis/0201275614048.html
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4.[期刊论文]看好MEMS市场无畏经济严寒——2008 ST MEMS技术研讨会侧记
期刊：《世界电子元器件》 | 2009 年第 001 期
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_global-electronics-china_thesis/0201275668682.html
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5.[期刊论文]卫星、MEMS技术和MEMS卫星
期刊：《电子世界》 | 2002 年第 010 期
关键词：MEMS技术；MEMS卫星；人造卫星；微卫星
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_electronics-world_thesis/0201282207210.html
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6.[学位论文]基于MEMS技术三维磁场传感器研究
目录
封面
摘要
英文摘要
目录
第1章绪论
1．1三维磁场传感器研究目的和意义
1．2三维磁场传感器国内外研究现状
1．3论文主要研究内容
第2章三维磁场传感器结构、工作原理及特性
2．1三维磁场传感器基本结构
2．2磁场调制理论分析
2．3三维磁场传感器工作原理
2．3．2y方向磁敏感单元工作原理
2．3．3z方向磁敏感单元工作原理
2．4三维磁场传感器特性分析
2．4．1磁灵敏度分析
2．4．2温度特性分析
2．5本章小结
第3章三维磁场传感器磁特性仿真
3．1导磁结构导磁特性仿真分析
3．1．1导磁结构仿真模型构建
3．1．2导磁结构导磁特性仿真
3．2导磁结构优化
3．2．1相对磁导率对导磁特性影响
3．2．2输出面面积对导磁特性影响
3．2．3输入面与外加磁场间隙对导磁特性影响
3．3x-y二维磁场磁特性仿真分析
3．3．1x-y二维磁场导磁结构仿真模型构建
3．3．2x-y二维磁场导磁特性仿真
3．3．3x方向敏感单元磁特性仿真
3．3．4y方向敏感单元磁特性仿真
3．4z方向敏感单元磁特性仿真
3．5本章小结
第4章三维磁场传感器芯片制作与封装
4．1三维磁场传感器芯片版图设计
4．2三维磁场传感器芯片制作工艺
4．3导磁结构制作工艺
4．4三维磁场传感器封装工艺
4．4．1三维磁场传感器芯片封装底座设计
4．4．2封装工艺
4．5本章小结
第5章实验结果与讨论
5．1三维磁场传感器特性测试系统搭建
5．2导磁结构性能测试及敏感单元标定
5．3x方向磁敏感单元特性
5．3．1磁敏特性
5．3．2温度特性
5．4y方向磁敏感单元特性
5．4．1磁敏特性
5．4．2温度特性
5．5z方向磁敏感单元特性
5．5．1磁敏特性
5．5．2温度特性
5．6三维磁场传感器特性
5．6．2VH与Byz-x关系
5．6．3VH与Bzx-y关系
5．6．4交叉灵敏度分析
5．6．5传感器输出信号误差分析
5．7本章小结
结论
参考文献
致谢
攻读学位期间取得学术成果
声明著录项
学科：微电子学与固体电子学
授予学位：硕士
年度：2021
正文语种：中文语种
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-degree-domestic_mphd_thesis/020316302495.html
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7.[学位论文]基于MEMS技术的三相栅式位移传感器关键技术的研究
目录
封面
文摘
英文文摘
声明
1. 绪 论
2. 三种栅式位移传感器原理分析
3. 新型栅式位移传感器的测量原理和结构设计
4. 新型栅式位移传感器测量系统的设计
5. 新型栅式位移传感器的实验研究
6. 误差分析
7. 全文总结与展望
致谢
参考文献
附录
个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果著录项
学科：测试计量技术及仪器
授予学位：硕士
年度：2011
正文语种：中文语种
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-degree-domestic_mphd_thesis/020316347350.html
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8.[学位论文]基于MEMS技术的捷联惯导系统性能增强技术研究
目录
声明
摘要
英文摘要
目录
缩略词对照表
1 绪论
1.1 论文的研究背景
1.2 国际、国内研究现状与发展趋势
1.2.1 惯性技术与惯性导航概述
1.2.2 捷联式惯导系统的发展概况
1.2.3 MEMS惯性传感器的发展状况
1.2.4 MEMS-SINS的系统研究现状
1.3 本文研究工作的目的和意义
1.3.1 论文研究的目的、意义
1.3.2 本文研究内容
2 MEMS-SINS原理及误差分析
2.1 运动平台坐标系下SINS的比力方程
2.1.1 坐标系定义
2.1.2 运动平台坐标系下运载体的运动学方程
2.1.3 地心惯性系下运载体的比力方程
2.2 SINS的力学编排方程
2.2.1 平台指令角速度
2.2.2 速度方程
2.2.3 经、纬度方程
2.2.4 姿态计算
2.3 SINS误差传播方程
2.3.1 姿态误差方程
2.3.2 速度误差方程
2.3.3 运载体转弯或盘旋半径的求取
2.3.4 定位误差方程
2.4 SINS的误差源模型
2.4.1 SINS系统误差源
2.4.2 惯性元件的安装误差
2.4.3 MEMS陀螺仪误差
2.4.4 MEMS加速度误差
2.4.5 地磁传感器的误差
2.5 本章小结
3 原理样机的设计与实现
3.1 MEMS-SINS主要性能指标
3.2 MEMS-SINS组成与原理
3.2.1 MEMS-SINS组成
3.2.2 MEMS-SINS原理
3.3 总体设计
3.3.1 结构设计
3.3.2 硬件电路设计
3.3.3 导航解算软件设计
3.4 系统关键技术的提出
3.5 本章小结
4 地磁模型、地磁测量及地磁匹配
4.1 地磁场与国际参考地磁场
4.2 地磁测量及地磁测量信号的小波去噪
4.2.1 测量仪器
4.2.2 地磁测量信号的特点
4.2.3 地磁测量信号的小波去噪
4.3 地磁导航
4.3.1 磁航向的确定
4.3.2 地磁匹配
4.3.3 实验验证
4.4 本章小结
5 标准大气模型与大气数据系统
5.1 大气数据系统概述
5.1.1 探针式大气数据传感系统
5.1.2 嵌入式大气数据传感系统
5.2 标准大气
5.2.1 气压高度模型
5.2.2 指示空速、真空速和马赫数模型
5.3 大气数据系统设计
5.3.1 大气数据测量中所要解决的关键问题
5.3.2 大气数据系统设计方案
5.3.3 多层感知机神经网络设计
5.3.4 多层感知机网络的训练
5.3.5 样本提取和网络训练
5.4 大气数据系统的实现
5.4.1 系统原理组成
5.4.2 总体设计
5.4.3 系统功能模块设计
5.4.4 实验验证
5.5 本章小结
6 MEMS惯性传感器去噪方法研究
6.1 MEMS惯性传感器漂移信号的基于小波域上KLT去噪方法
6.1.1 小波域的KLT去噪算法思想
6.1.2 小波去噪
6.1.3 基于小波域的的KLT去噪方法实现
6.1.4 实验结果
6.1.5 结论
6.2 基于à trous小波变换的实时去噪方法
6.2.1 à trous小波的实时去噪方法介绍
6.2.2 实验结果
6.3 本章小结
7.基于KPCA的MEMS-SINS/GNS/ADS组合导航系统的UKF信息融合
7.1 基于KPCA的组合导航系统的UKF融合算法框架
7.2 基于KPCA的组合导航系统的UKF融合算法介绍
7.2.1 四元数解算姿态角
7.2.2 基于KPCA重构误差的UKF判定
7.2.3 UKF算法介绍
7.2.4 基于UKF的MEMS-SINS/GNS/ADS的信息融合
7.3 半实物仿真与试飞实验
7.3.1 地面跑车实验
7.3.2 试飞实验结果
7.4 本章小结
8 结论与展望
8.1 本文工作总结
8.2 工作展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间取得的研究成果著录项
学科：机械设计及理论
授予学位：博士
年度：2010
正文语种：中文语种
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-degree-domestic_mphd_thesis/020313979831.html
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9.[学位论文]MEMS技术的磁流体陀螺仪关键技术的研究
目录
著录项
学科：机械制造及其自动化
授予学位：硕士
年度：2008
正文语种：中文语种
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-degree-domestic_mphd_thesis/020312326324.html
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10.[学位论文]基于MEMS技术的微自适应光学系统的建模及关键技术研究
目录
封面
文摘
英文文摘
第一章. 绪论
1.1.自适应光学技术与系统
1.1.1.自适应光学技术的发展
1.1.2.自适应光学系统的组成与应用
1.2.微型自适应光学系统及其国内外研究发展现状
1.3.本文研究目的与研究内容
第二章. 自适应光学波前扰动理论
2.1.大气湍流统计理论
2.1.1.柯尔莫哥洛夫(Kolmogorov)湍流理论
2.1.2.其它湍流理论
2.2.光波在湍流大气中的传播理论
2.2.1.光波在单层湍流大气中的传播理论
2.2.2.光波在多层湍流大气中的传播理论
2.3.湍流对光学系统成像的影响——赛德尔(Seidel)像差
2.3.1.球差(Spherical Aberration)
2.3.2.彗差(Coma)
2.3.3.像散与场曲(Astigmatism and field curvature)
2.3.4.畸变(Distortion)
2.4.自适应光学系统的评价指标
2.5.本章小结
第三章. 微自适应光学系统的建模与仿真
3.1.光波波前传感技术
3.1.1.剪切干涉波前传感技术
3.1.2.曲率波前传感技术
3.1.3.哈特曼——夏克(Shack-Hartmann)波前传感技术
3.1.4.几种波前传感技术的比较
3.2.波前重构理论
3.2.1.区域法波前重构理论
3.2.2.模式法波前重构理论
3.2.3.两种波前重构理论的比较
3.3.微自适应光学系统波前重构建模与仿真
3.3.1. Zernike多项式的产生
3.3.2.大气湍流随机波前的产生
3.3.3.波前传感及波前重构算法仿真与分析
3.4.微变形镜波前校正仿真
3.5.本章小结
第四章. 基于MEMS技术的微变形镜的分析与设计
4.1.变形镜的性能指标及其分类与比较
4.1.1.传统变形镜
4.1.2.基于MEMS技术的微变形镜
4.2.增大分立式微变形镜有效冲程的方法研究
4.2.1.Snap-down现象及其影响
4.2.2.折变弹性梁的设计与分析
4.2.3.复合弹性梁的设计与分析
4.3.分立式微变形镜的工艺与版图设计
4.3.1.微变形镜的加工工艺
4.3.2.分立式微变形镜的工艺设计
4.3.3.分立式微变形镜的版图设计
4.4.本章小结
总结与展望
参考文献
研究生期间发表的论文：
参加科研项目情况：
致谢
西北工业大学学位论文知识产权声明书及西工业大学学位论文原创性声明著录项
学科：机械制造及其自动化
授予学位：硕士
年度：2005
正文语种：中文语种
中图分类：发送器（变换器）、传感器
链接：https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-degree-domestic_mphd_thesis/020314022590.html |
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发表于 2022-12-11 09:02:24